Comment un client a optimisé son processus de fabrication de semi-conducteurs

La miniaturisation pose des défis complexes en matière de distribution de fluides pour les fabricants de semi-conducteurs. Alors que les populations de puces sur substrats continuent d'augmenter, les écarts entre eux deviennent de plus en plus étroits – jusqu'à quelques centaines de microns aujourd’hui et se dirigent vers < 100 μm dans un proche avenir.  Dans le même temps, les hauteurs de bosse sous les puces diminuent – jusqu'à des dizaines de microns pour les petits facteurs de forme. Ces espaces étroits et ces géométries serrées nécessitent une solution spécialisée pour garantir des résultats de distribution efficaces et de haute qualité.

 

Un client de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs a récemment expliqué comment le système jetting IntelliJet® les a aidés à surmonter ces défis, leur permettant d'améliorer la qualité et d'augmenter l'UPH en jetting des largeurs de flux constantes et étroites à haute fréquence. Leur application nécessite de grandes quantités de sous-remplissage pour être distribuées dans de petits espaces. La distribution dans de petits espaces nécessite généralement de très petits volumes de fluide pour obtenir des largeurs de flux dans l'air étroites. Une approche pour obtenir des largeurs de flux étroites consiste à réduire le volume de points. Cependant, cela peut entraîner un nombre global de points plus élevé et une réduction de la productivité. Une autre approche consisterait à augmenter le volume de points pour améliorer la productivité, mais cette approche augmente la largeur du flux et sacrifie la qualité. Avec ces limitations à l'esprit, le défi consistait à trouver une solution pour équilibrer la largeur du flux et la Débit sans compromettre leurs objectifs de qualité et de productivité.

 

Pour répondre aux exigences de l'application, nous avons suggéré notre système de jetting (IJ) IntelliJet piloté par des produits piézoélectriques. Nous savions que l'IJ pouvait répondre aux exigences des applications en matière de productivité et de qualité, tout en réduisant leur coût de possession. En utilisant l'IJ, le client a bénéficié d'avantages significatifs :

 

 

En passant au système de jetting IntelliJet, ce client a pu obtenir des résultats immédiats qui ont non seulement permis d'améliorer considérablement la qualité globale, mais également d'améliorer l'UPH, la disponibilité et le coût de possession de ses processus de fabrication de semi-conducteurs.

 

Contactez-nous à [email protected] si vous souhaitez savoir comment le système jetting IntelliJet peut optimiser votre processus de production.