Métrologie des semi-conducteurs

Métrologie des semi-conducteurs

Inspection et métrologie des plaquettes

Bienvenue à l'AXM

Solution d'inspection et de métrologie par rayons X en ligne et en laboratoire


Nordson Test& Inspection offre une gamme complète de solutions d'inspection et de métrologie par rayons X en ligne et en laboratoire pour évaluer et surveiller la qualité des tranches.

 

Vérifiez la forme, le niveau de remplissage et les vides dans le TSV via des vias en silicone.
Inspecter la qualité de construction, les liaisons par fil, l'alignement des composants et la soudure& Adhésif miction pendant la fabrication du MEMS.
Vérifiez la présence, la forme, la position et le vide des bosses dans les bosses de plaquette.
Trouvez des défauts tels que les joints froids, la tête dans l'oreiller et le désalignement dans les packages au niveau des tranches 2,5D et 3D.

 

Nos produits

Nordson Test & Inspection produits de AXM


XM8000-7P


Le Nordson XM8000-7P est spécialement conçu pour l'inspection par rayons X des boîtiers au niveau du panneau avec une taille maximale de 510 mm x 515 mm. 
Il permet aux fabricants d'identifier les plus petits défauts, enfouis dans les boîtiers multicouches des semi-conducteurs. Le système à 7 axes comprend un détecteur à cardan pour les capacités 3D, ce qui représente le summum de la précision pour la métrologie par rayons X entièrement automatisée.
XM8000 Series

XM8000-7 Pro


Conçu pour les applications d'emballage avancées les plus exigeantes, le Nordson XM8000-7 Pro établit une nouvelle référence en matière de métrologie 3D haute performance. Conçu pour offrir une répétabilité et une précision exceptionnelles, le XM8000 Pro permet une reconstruction 3D à l'échelle submicronique avec une fidélité d'imagerie et un débit inégalés.


En savoir plus

XM8000-5


Nordson XM8000-5 est le système de métrologie par rayons X le plus rapide du marché, intégré à un détecteur Aspire™ XL à grand champ de vision (FOV). Il est optimisé pour un débit élevé et une inspection de haute précision, ce qui le rend vital pour les plaquettes de semi-conducteurs très peuplées.
Datasheet