Aperçu

Les machines de traitement au plasma de la série AP conviennent à une grande variété d'applications de nettoyage au plasma, d'activation de surface et d'amélioration de l'adhérence. Ces capacités sont utilisées pour la fabrication de semi-conducteurs, le conditionnement et l'assemblage microélectroniques, ainsi que par les fabricants d'appareils médicaux et des sciences de la vie. La série AP se compose de quatre systèmes de traitement au plasma par lots offrant des options de chambre à vide de petite, moyenne et grande taille qui offrent une corrélation de processus, une continuité du contrôleur et un traitement au plasma de gaz sous vide fiable et reproductible aux clients à mesure qu'ils passent d'un R& D environnement à différents niveaux de production.

Traitement plasma équipement caractéristiques et avantages

• Le contrôleur PLC avec écran tactile fournit une interface graphique intuitive et une représentation du processus en temps réel
• L'architecture d'étagère Flexible permet le traitement d'une grande variété de supports de pièces en mode plasma direct ou en aval
• Le générateur RF 13,56 MHz a une adaptation d'impédance automatique pour une reproductibilité de processus inégalée
• Le système de contrôle logiciel propriétaire génère des données de processus et de production pour le contrôle statistique des processus
• Style de lot, chaque unité est complètement autonome, nécessitant un minimum d'espace au sol
• La pompe, la chambre, la commande Electronique et le générateur RF 13,56 MHz sont logés dans un seul boîtier

Traitement Plasma équipement Modèles et Configurations

AP-300™ et AP-600™ Machines de traitement au plasma : Les machines de traitement au plasma AP-300 et AP-600 sont de type paillasse, entièrement autonomes, nécessitant un minimum d'espace sur la paillasse. Le châssis du système abrite la chambre à plasma, le contrôle Electronique, le générateur RF 13,56 MHz et le réseau d'adaptation automatique (seul le pompe à vide est externe au système). L'accès pour la maintenance est assuré par une porte verrouillée ou des panneaux amovibles. La chambre à plasma prend en charge jusqu'à 7 étagères amovibles et réglables alimentées ou mises à la terre pour accueillir un large gamme de pièces détachées, de composants et de supports de pièces, y compris des magazines, des plateaux et des bateaux. Les systèmes de traitement au plasma sous vide peuvent accueillir un large gamme de gaz de procédé, notamment l'argon, l'oxygène, l'hydrogène, l'hélium et les gaz fluorés. Les deux Modèles sont livrés en standard avec deux (2) contrôleurs de débit massique électroniques pour un contrôle optimal du gaz, avec deux (2) autres disponibles en option (4 au total max.). Raccordements d'installation pratiques pour les exigences d'étalonnage périodiques utilisées dans les processus de validation.

Traitement au plasma AP-1000™ équipement :  La plate-forme AP-1000 permet un accès frontal complet permettant un accès pratique à tous les composants intérieurs. La pompe est positionnée sur des roulettes pour un démontage facile. La chambre à plasma est construite en acier inoxydable de calibre 11 avec des fixations en aluminium pour une durabilité supérieure. La chambre dispose de plusieurs étagères amovibles et réglables pour accueillir une gamme de supports de pièces, y compris des magazines, des plateaux, des plaquettes et des bateaux Auer. Le système de traitement au plasma AP-1000 avec étagères HTP (high débit) en option associe la fiabilité et la qualité de traitement du système AP-1000 aux avantages éprouvés de la conception unique des étagères de Nordson MARCH. L'AP-1000 HTP optimise l'utilisation des ions réactifs trouvés dans le plasma RF, augmentant l'uniformité du traitement tout en réduisant le temps de traitement. Le système AP-1000 HTP permet de sélectionner parmi une gamme de gaz de procédé tels que l'argon, l'hydrogène et l'hélium. Il est équipé en standard de quatre contrôleurs de débit massique pour un contrôle optimal du gaz. Les magasins à fentes sont placés verticalement à l'intérieur de la chambre.

De plus, des magasins à fentes peuvent être placés verticalement à l'intérieur de la chambre. En règle générale, chaque magasin contient un minimum de 20 grilles de connexion. La chambre à plasma AP-1000 peut contenir jusqu'à 12 magasins, selon la taille du magasin.