概要

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パーティクルの発生個所を素早く見つけて対処することが出来るので、時間を大幅に短縮することが出来ます。
装置のクリーン度をリアルタイムに診断する為にIPS及びアプリケーションソフトウエアCyberSpectrumを使ってパーティクルデータをリアルタイムに測定して表示します。™ アプリケーションソフトウエアCyberSpectrumにより過去のデータと現在のデータを簡単に比較解析することが可能です。装置のクリーニングや調整、改善の効果をリアルタイムに確認することが出来ます。パーティクルの発生個所を素早く見つけて対処することが出来るので、時間を大幅に短縮することが出来ます。

インラインにパーティクルを検出することにより、装置のメンテナンスサイクルを短縮します。
パーティクルをリアルタイムに検出し、その測定値と装置におけるイベントを発生タイミングで同定させることが出来ます。装置やプロセスにおける基準設定を行い管理することが可能。発塵源を重点的に対処することが出来るので、メンテナンスサイクルのシンプル化に貢献します。

装置にかかるメンテナンス費用を低減させる客観的で再現性のあるデータ。
装置におけるパーティクル発生をアラームとして管理し、予防メンテナンスのタイミングを最適化することが可能。