In-line Particle Sensor™ (IPS™)

Colete e exiba dados de partícula usando o IPS e o novo software CyberSpectrum™ para diagnóstico de equipamento em tempo real. Compare rápida e facilmente os dados do passado e do presente, bem como uma ferramenta com outra usando o CyberSpectrum. Veja o efeito de limpezas, ajustes e reparos em tempo real. Economize tempo localizando facilmente as origens da contaminação.

Entre em contato conosco Portfólio

Faça uma pergunta

Visão geral

Agilize a qualificação do equipamento com monitoramento em tempo real, 24 horas por dia, 7 dias por semana.
Colete e exiba dados de partícula usando o IPS e o novo software CyberSpectrum™ para diagnóstico de equipamento em tempo real. Compare rápida e facilmente os dados do passado e do presente, bem como uma ferramenta com outra usando o CyberSpectrum. Veja o efeito de limpezas, ajustes e reparos em tempo real. Economize tempo localizando facilmente as origens da contaminação.

Diminua os ciclos de manutenção do equipamento com detecção de partículas em linha.
Detecte partículas em tempo real e correlacione medidas com eventos de ferramenta. Desenvolva um desempenho de linha de base para ferramenta e processo. Simplifique os ciclos de serviço fazendo manutenção seletiva de partes de uma ferramenta que estejam causando a geração de partículas.

Reduza as despesas do equipamento com dados objetivos e reproduzíveis.
Receba avisos com antecedência para falhas de equipamento iminentes e otimize os planos de manutenção preventiva.

Vídeo do produto In-line Particle Sensor™ (IPS™)

Monitoramento em tempo real, 24 horas por dia, 7 dias por semana

Com base em nossa tecnologia WaferSense® Airborne Particle Sensor™, o IPS utiliza um laser azul de alta potência para monitorar, identificar e permitir rapidamente a solução de problemas de partículas de até 0,1µm dentro dos locais das linhas de gás e vácuo tendo em vista aplicações sensíveis ao processo.