In-line Particle Sensor™ (IPS™)

Erfassen Sie Partikeldaten mit IPS und der neuen CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit und zeigen Sie sie an. Vergleichen Sie mit CyberSpectrum einfacher und schneller frühere und aktuelle Daten oder Daten zwischen verschiedenen Geräten. Sehen Sie die Auswirkungen von Reinigungsvorgängen, Anpassungen und Reparaturen in Echtzeit. Sparen Sie Zeit durch die schnelle Identifizierung von Verunreinigungsquellen.

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Schnellere Gerätequalifizierung mit Echtzeitüberwachung rund um die Uhr.
Erfassen Sie Partikeldaten mit IPS und der neuen CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit und zeigen Sie sie an. Vergleichen Sie mit CyberSpectrum einfacher und schneller frühere und aktuelle Daten oder Daten zwischen verschiedenen Geräten. Sehen Sie die Auswirkungen von Reinigungsvorgängen, Anpassungen und Reparaturen in Echtzeit. Sparen Sie Zeit durch die schnelle Identifizierung von Verunreinigungsquellen.

Verkürzen Sie Wartungszyklen für Geräte mit Inline-Partikelerkennung.
Erkennen Sie Partikel in Echtzeit und korrelieren Sie Messungen mit Geräteereignissen. Entwickeln Sie eine Basisleistung für Gerät und Prozess. Vereinfachen Sie Wartungszyklen durch die selektive Behandlung von Teilen eines Geräts, die Partikel generieren.

Senken Sie die Gerätekosten mit objektiven und reproduzierbaren Daten.
Erhalten Sie frühzeitige Warnungen bei drohenden Geräteausfällen und optimieren Sie Ihre präventiven Wartungspläne.

Produktvideo zum In-line Particle Sensor™ (IPS™)

Echtzeitüberwachung rund um die Uhr

Auf der Grundlage unserer WaferSense® Airborne Particle Sensor™-Technologie nutzt IPS einen leistungsstarken blauen Laser zur schnellen Überwachung, Identifizierung und Aktivierung der Fehlerbehebung für Partikel bis hinab zu einer Größe von 0,1µm an Gas- und Vakuumleitungen im Rahmen prozesssensitiver Anwendungen.