概要

ワイヤレス技術を使った迅速な装置検証

ソフトウエアCyberSpectrum™により気中パーティクルをリアルタイムに測定します。複数の装置における発塵、クリーン度の機差を数値化します。迅速にパーティクル源を見つけ、必要なチャンバーなどだけにクリーニング、調整、パーツ交換などを対処できるので時間を大幅に節約できます。

レチクル形状なので装置メンテナンスにかかる時間を削減します。

装置のチャンバーを開けずにパーティクルをリアルタイムに可視化するので、大気解放する必要がありません。APSRとAPSRQはレチクルマスクが搬送される場所に搬送することが可能。発塵の場所が同定できたら、その場所だけをクリーンイングすることが可能。汚れたチャンバーだけを対象にクリーン化対処を行い、既にクリーンなチャンバーは開けずに済みます。

客観性があり再現性のあるデータで装置のメンテにかかるコストを削減します。

モニターレチクルを流す回数を減らすことで、無駄な経費（時間とレチクルの浪費）を削減します。予防メンテナンスとしてデータを活用し、問題が出る前に異常を見つけることが出来ます。基準を設けて、装置間のパーティクル発塵の機差を減らす事が可能。