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レチクルセンス オートティーチングシステム(ATSR)
ワイヤレスでリアルタイムの位置測定技術（座標値）により高精度の調整とセットアップが行えるので、プロセスにおける歩留まりを向上させます。
ATSRのビデオ
ATSRのプレゼンテーション
概要
レチクルを高精度に搬送させることによりパーティクル発生を抑え歩留まりを向上させることが可能
プロセス装置内にてATSRを搬送させレチクルの位置を高精度に測定します。正しく校正された装置により製造プロセスの歩留まりを向上させます。
装置のセットアップにおける再現性を向上させます。
再現性のとても良いATSRを使うことにより技術者間の個人差を減らします。
装置のダウンタイムを削減することにより稼働率を大幅に向上
ワイヤレスで真空互換性があるATSRを使えば、装置を大気解放しなくて良いのでトラブル対策にかかる時間とコストを大幅に短縮装置の稼働率を向上させて無駄な経費と時間を削減
目視確認と消耗品にかかるコストを減らしトラブル対策を迅速に実施
レチクル搬送を高精度に行うことによりパーティクル発塵量を減らすことが可能マスク製造装置内にレチクル形状のATSRを搬送させ高精度の搬送位置を測定します。正しく校正された装置により製造プロセスの歩留まりを向上させます。再現性の良い装置セットアップを実現します。ATSRがあれば装置メンテを再現性良く、個人差なく実施することが可能装置のダウンタイムを削減することにより稼働率を大幅に向上真空互換性がありワイヤレス、レチクル形状なので装置を大気解放させずにトラブル対応を行うことが可能になります。チャンバーを開けずに可視化が出来るので、かかる消耗品コストと時間を大幅に削減できます。チャンバーを開けずに中を可視化してかかる消耗品コストを時間を削減装置内にATSRを搬送させ、リアルタイムに画像を取得します。ソフトウエアCyberSpectrumにてXY座標を得て作業をするので推測作業をやめることが出来ます。チャンバを開けずに内部の異物を観察することも可能
特長
| ワイヤレス、レチクル形状で充電式 | 6025準拠の形状と重量 |
| 複数のカメラを実装 | 5台のカメラで装置内のターゲットの座標値を計測照明あり。カラー画像を取得。 |
| 使いやすいソフトウェア | ソフトウエアCyberSpectrumが付いています ターゲットをリアルタイムに撮影し、そこからの座標値を測定して数値データを表示します。測定された画像と数値データはログされ解析に利用することが出来ます。 |
| 頑丈なハウジング | 多くのマスク製造装置や露光装置に使える石英製のハウジング |
| レチクルマスクと同等の重量 | 約230グラム |
| 本体の厚さ | 本体:6025準拠のレチクル形状 |
| 動作気圧 | <10-6 ～ 760 トール |
| 動作温度 | 20 ～ 60 度 (C) |
| ワイヤレス通信方式 | Bluetooth |
| オペレーティングシステム | Windows10 |
| 製品コンポーネント | ATSRセンサー、充電器付きケース、搬送用ケース及び通信用Gateway |
| 校正 | 年に1回の校正を推奨 |
| 充電式 | 充電後1時間以上駆動 |
| 駆動距離 | Z距離:38-42mmにて画像処理 |
| 測定再現性 | 最適な距離において0.025mm |
| 精度 | 最適な距離にて0.050mm |