Información general

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Acelere la homologación de los equipos con un control permanente en tiempo real.
Recopile y visualice datos de partículas mediante IPS y el nuevo software CyberSpectrum™ para diagnosticar equipos en tiempo real. Compare datos pasados y presentes, así como una herramienta con otra, de forma más fácil y rápida con CyberSpectrum. Vea el efecto de las limpiezas, los ajustes y las reparaciones en tiempo real. Ahorre tiempo localizando rápidamente las fuentes de contaminación.

Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con la detección de partículas en línea.
Detecte partículas en tiempo real y compare las mediciones con los eventos de la herramienta. Establezca un punto de referencia para el rendimiento de la herramienta y el proceso. Simplifique los ciclos de mantenimiento reparando por separado las piezas de la herramienta que generan partículas.

Reduzca los gastos de los equipos con datos objetivos y reproducibles.
Reciba alertas anticipadas sobre fallos de los equipos y optimice sus planes de mantenimiento preventivo.