개요

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실시간 상시 모니터링으로 장비 기준 충족 속도를 높이십시오.
실시간 장비 진단을 위한 IPS 및 신규 CyberSpectrum™ 소프트웨어를 사용하여 입자 데이터를 수집하고 표시하십시오. CyberSpectrum으로 과거 데이터와 현재 데이터, 그리고 한 도구와 다른 도구를 더욱 쉽고 빠르게 비교하십시오. 세척, 조정 및 수리의 효과를 실시간으로 확인하십시오. 오염원을 신속하게 찾아 시간을 절약하십시오.

인라인 입자 센싱으로 장비 정비 주기를 단축하십시오.
입자를 실시간으로 감지하고 측정과 도구 이벤트를 상호 연계하십시오. 도구 및 공정을 위한 기준선 성능을 개발할 수 있습니다. 도구에서 입자 생성을 유발하는 부분을 선택적으로 정비하여 정비 주기를 간소화하십시오.

객관적이고 재현 가능한 데이터로 장비 비용을 낮추십시오.
장비 고장이 임박하면 미리 경고가 제공되어 예방 정비 계획을 최적화할 수 있습니다.