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In-line Particle Sensor™ (IPS™)
Collectez et affichez des données de particules à l'aide d'IPS et du nouveau logiciel CyberSpectrum™ pour diagnostiquer l'équipement en temps réel. Comparez les données passées et présentes ainsi qu'un outil à un autre plus facilement et plus rapidement avec CyberSpectrum. Constatez l'effet des nettoyages, des réglages et des réparations en temps réel. Gagnez du temps en localisant rapidement les sources de contamination.
Présentation
ccélérez la qualification des équipements grâce à une surveillance en temps réel, 24 heures sur 24, 7 jours sur 7.
Collectez et affichez des données de particules à l'aide d'IPS et du nouveau logiciel CyberSpectrum™ pour diagnostiquer l'équipement en temps réel. Comparez les données passées et présentes ainsi qu'un outil à un autre plus facilement et plus rapidement avec CyberSpectrum. Constatez l'effet des nettoyages, des réglages et des réparations en temps réel. Gagnez du temps en localisant rapidement les sources de contamination.
Raccourcissez les cycles de maintenance des équipements grâce à la détection en ligne des particules.
Détectez les particules en temps réel et établissez une corrélation entre les mesures et les événements survenus sur l'outil. Élaborez une performance de base pour l'outil et le processus. Simplifiez les cycles de maintenance en réparant de manière sélective les parties de l'outil à l'origine de la production de particules.
Réduisez les dépenses d'équipement en exploitant des données objectives et reproductibles.
Recevez une alerte précoce en cas de panne imminente de l’équipement et optimisez vos plans de maintenance préventive.
Vidéo du produit In-line Particle Sensor™ (IPS™)
Surveillance en temps réel 24/7
Reposant sur notre technologie WaferSense® Airborne Particle Sensor™, l'IPS utilise un laser bleu à haute puissance pour surveiller, identifier et dépanner rapidement les particules jusqu'à 0,1µm à l'intérieur des conduites de gaz et de vide pour les applications sensibles aux processus.
Caractéristiques
| Interface mécanique | Bride ISO-63 (configuration standard) |
| Intégrité du venturi | Taux de fuite inférieur à 10-6 atm-l/s |
| Précision extrême | Mesure les particules supérieures à 0,1 μm Moins de 5 faux décomptes par heure |
| Laser | Certifié pour la classe laser 1 |