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In-line Particle Sensor™ (IPS™)
Raccogli e mostra i dati relativi alle particelle utilizzando la soluzione IPS e il nuovo software CyberSpectrum™ per la diagnostica dei macchinari in tempo reale. Effettua confronti tra dati passati e presenti, oltre che tra uno strumento e l'altro in modo più semplice e più veloce con CyberSpectrum. Osserva gli effetti delle pulizie, delle regolazioni e delle riparazioni in tempo reale. Risparmia tempo individuando rapidamente le fonti di contaminazione.
Panoramica
Velocizza la qualifica dei macchinari con il monitoraggio in tempo reale 24/7.
Raccogli e mostra i dati relativi alle particelle utilizzando la soluzione IPS e il nuovo software CyberSpectrum™ per la diagnostica dei macchinari in tempo reale. Effettua confronti tra dati passati e presenti, oltre che tra uno strumento e l'altro in modo più semplice e più veloce con CyberSpectrum. Osserva gli effetti delle pulizie, delle regolazioni e delle riparazioni in tempo reale. Risparmia tempo individuando rapidamente le fonti di contaminazione.
Riduci i cicli di manutenzione dei macchinari con il sensore delle particelle in linea.
Rileva le particelle in tempo reale e metti in correlazione le misure con gli eventi dello strumento. Sviluppa una prestazione di base per strumenti e processi. Semplifica i cicli di manutenzione effettuando la manutenzione selettiva delle porzioni di uno strumento che generano particelle.
Riduci le spese dei macchinari con dati obiettivi e riproducibili.
Ricevi allarmi tempestivi per guasti imminenti ai macchinari e ottimizza i tuoi piani di manutenzione preventiva.
Video del prodotto In-line Particle Sensor™ (IPS™)
Monitoraggio 24/7 in tempo reale
Basata sulla nostra tecnologia WaferSense® Airborne Particle Sensor™, la soluzione IPS utilizza un laser blu ad alta potenza per monitorare, identificare e promuovere la risoluzione dei problemi in modo rapido di particelle di dimensioni inferiori a 0,1µm all'interno di posizioni di linee a gas e a vuoto per applicazioni sensibili al processo.
Caratteristiche
| Interfaccia meccanica | Flangia ISO-63 (configurazione standard) |
| Integrità del vuoto | Tasso di perdita inferiore a 10-6 atm-l/sec |
| Altamente preciso | Misura particelle superiori a 0,1 μm Meno di 5 falsi conteggi all'ora |
| Laser | Certificato per laser classe 1 |