概述

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通过全天候不间断的实时监控加速设备认证。
使用 IPS 和全新 CyberSpectrum™ 软件收集和显示颗粒数据，实时诊断设备。使用 CyberSpectrum 可以更轻松、更快速地比较过去和现在的数据以及不同的设备。实时查看清洗、调整和维修效果。快速定位污染源，节省时间。

通过在线式颗粒传感缩短设备维护周期。
实时检测颗粒，并将测量结果与工具事件相关联。开发工具和工艺的基准性能。通过选择性地维修导致颗粒产生的工具部件，简化维护周期。

通过客观且可重复的数据降低设备费用。
接收即将发生的设备故障的早期预警并优化您的预防性维护计划。