概要

理想的な設定

3 点測定（ソフトで 5 点測定に変更も可能） でチャンバー内ギャップを理想的にセットアップします。

• 真空中においてリアルタイムに数値データとビジュアルな GUI にて簡単に使える Nordson Spectrum ソフトがありますので迅速に必要なギャップ調整を正確に行えます。
• 完璧なギャップ調整や微妙な傾斜を行えるのでプロセスの最適な面内均一性を  
  得ることが出来ます。

ツール間のプロセスを向上

再現性が非常に高く客観的なので装置別のプロセス均一性を改善させることが出来ます。

• 装置の調整に個人差を省くことが可能です。
• 将来に向けて安定した高精度の調整を保つことが出来ます。
• すべてのユーザーがツール間で 同じギャップを設定できるようにします。

機器の キャリブレーション時間を削減

リアルタイムにギャップ調整出来るので時間を短縮させます。

• 装置の調整の効果をリアルタイムに確認することが出来ます。
• ギャップ調整に基準を設けることにより、測定値を生かして装置間の機差を減らすことが出来ます。

 セットアップを加速

チャンバー内を自動搬送させることによりセットアップやトラブル対策にかかる時間を大幅に減少させます。

• 時間とコストを節約できます。