Visão geral

Melhore os resultados e diminua a contaminação por partículas com uma calibração de entrega de wafer precisa.

Registre dados de deslocamento tendo em vista a calibração precisa das posições de transferência à medida que o ATS semelhante a wafer percorre o equipamento semicondutor. Melhore o resultado do processo de fabricação com equipamento calibrado.

Consiga configurações de equipamento semicondutor repetíveis e reproduzíveis.

Elimine variações de técnico para técnico com o processo de calibragem ATS que possibilita verificações de configuração e manutenção repetíveis e reproduzíveis.

Reduza o tempo de inatividade do equipamento de horas para minutos.

A solução de problemas requer menos tempo com o ATS compatível com vácuo e sem fio, pois o equipamento permanece vedado durante a inspeção. Aumente a disponibilidade do equipamento e reduza a despesa com mão de obra e consumíveis.

Agilize a solução de problemas e diminua a despesa com consumíveis com inspeção visual.

Receba imagens em tempo real à medida que os robôs avançam o ATS pela ferramenta. A nova interface gráfica do usuário do software CyberSpectrum™ apresenta deslocamentos x, y e z que eliminam a adivinhação. Procure wafers perdidos e verifique se os pedestais estão livres de detritos sem a abertura da ferramenta.