WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

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WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

Melhore a uniformidade e o resultado com WaferSense AGS2 sem fio para configurações precisas e repetíveis.

Vídeo do produto WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)


Visão geral


A configuração ideal

Atinja a configuração ideal para o equipamento  medindo lacunas em três pontos.

  • Consiga rapidamente a lacuna da qual você precisa usando as leituras de câmara na pressão do processo em formas numérica e gráfica, com o software Nordson Spectrum fácil de usar.
  • Consiga a uniformidade, independentemente de precisar ajustar uma folga perfeitamente  
    em paralelo ou levemente inclinada.

Melhore o processo entre ferramentas

Aumente a uniformidade do processo entre ferramentas com ajustes de lacuna objetivos e repetíveis.

  • Tranquilize-se tirando a variável humana do ajuste do equipamento.
  • Faça os ajustes certos periodicamente.
  • Permita a qualquer pessoa ajustar a mesma  lacuna em todas as ferramentas.

Reduzir calibragens do equipamento

Reduza o tempo por meio do feedback ao vivo.

  • Veja os efeitos dos ajustes em tempo real.
  • Tenha uma indicação clara quando as configurações do equipamento estão dentro da tolerância usando medidas que possam ser feitas por dentro de uma câmara de processo evacuada.

 Agilizar configurações

Agilize configurações, manutenção e solução de problemas com o processamento automático.

  • Economize tempo e dinheiro.

Características & software

Especificações preliminares
Fator de forma Disponível em 200 mm e 300 mm
Software Nordson Spectrum
Precisão ± 0,025 mm para lacunas de até 30 mm
Material do alojamento Fibra de carbono
Resolução <0,001 mm (para lacuna de <30 mm)
Faixa De 8 a 30 mm (padrão), de 7 a 50 mm (estendida - exploratória)
Peso 250 g (300 mm)
Pressão de operação <10-6 a 760 torr
Temperatura De 20 °C a 60 °C
Duração da bateria <3 horas por carga
Comunicação Bluetooth
Sistema operacional Windows 10
Componentes do produto Dispositivo medidor de lacunas, caixa de carga limpa, maleta de transporte, módulo do link de comunicação USB e software do aplicativo
Calibragem Recalibragem de fábrica  recomendada anualmente

Exibe dados numéricos e gráficos em tempo real. Identifique facilmente se eles estão acima, abaixo ou dentro da faixa de lacunas desejada. Exiba os dados do arquivo de log para revisão e análise.

 

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