L'anneau de confinement du plasma de Nordson MARCH augmente le taux de gravure et améliore l'uniformité du traitement pour le traitement des plaquettes
sept.
21,
2016
Concord, Californie, États-Unis - 21 septembre 2016 - Nordson MARCH, une société Nordson (NASDAQ : NDSN), leader mondial de la technologie de nettoyage plasma, présente son anneau de confinement plasma pour les applications de traitement et de distribution de plaquettes. L'anneau concentre et focalise le plasma directement sur la plaquette pour accélérer le processus de gravure, fournir une couverture de plasma uniforme et isoler le plasma sur la plaquette elle-même plutôt que sur la zone qui l'entoure ou qui se trouve en dessous. Les températures de processus peuvent être maintenues basses car l'anneau augmente la capacité de taux de gravure sans qu'il soit nécessaire d'augmenter la température de l'électrode ou d'ajouter une polarisation au mandrin.
En utilisant l'anneau de confinement, il existe un chemin de conduction libre entre les électrodes supérieure et inférieure dans la région de la plaquette, mais aucun chemin de conduction dans la zone de la bande Adhésif et du cadre de la plaquette. L'anneau est fabriqué à partir d'un matériau isolé et non conducteur, tandis que le chemin de conduction du plasma aluminium-aluminium est confiné à la zone de la plaquette. Il y a un espace de 2 mm entre l'anneau et le ruban Adhésif et le cadre de la plaquette. Comme il n'y a pas de génération de plasma ni de plasma au bas de la plaquette et de la bande Adhésif, le dégagement et le délaminage sont minimisés et il n'y a pas de pulvérisation ou de dépôt de bande Adhésif sur la surface de la plaquette.
"La grande différence entre notre concept et la plupart des systèmes frontaux réside dans la méthode d'espacement et de confinement", explique Jonathan Doan, directeur du marketing chez Nordson MARCH. "Dans notre méthode, nous minimisons l'écart entre le bord de l'anneau et l'électrode inférieure, ce qui entraîne une zone de propagation plus petite. Cet écart est d'environ 2 mm ou moins, vous n'obtenez donc que du plasma secondaire, plutôt que du plasma primaire comme sur d'autres systèmes. Le volume global de la chambre est réduit à la seule zone située au-dessus de la plaquette.
L'anneau de confinement du plasma est disponible avec la série de systèmes plasma SPHERE™ de Nordson MARCH. Les applications du plasma comprennent le dépilage, le décapage par incinération/photorésist/polymère, la gravure diélectrique, le bumping de plaquettes, l'élimination de la contamination organique et la déstressation des plaquettes.
Pour plus d'informations, contactez Nordson MARCH au [email protected] ou appelez le +1.925.827.1240.
En utilisant l'anneau de confinement, il existe un chemin de conduction libre entre les électrodes supérieure et inférieure dans la région de la plaquette, mais aucun chemin de conduction dans la zone de la bande Adhésif et du cadre de la plaquette. L'anneau est fabriqué à partir d'un matériau isolé et non conducteur, tandis que le chemin de conduction du plasma aluminium-aluminium est confiné à la zone de la plaquette. Il y a un espace de 2 mm entre l'anneau et le ruban Adhésif et le cadre de la plaquette. Comme il n'y a pas de génération de plasma ni de plasma au bas de la plaquette et de la bande Adhésif, le dégagement et le délaminage sont minimisés et il n'y a pas de pulvérisation ou de dépôt de bande Adhésif sur la surface de la plaquette.
"La grande différence entre notre concept et la plupart des systèmes frontaux réside dans la méthode d'espacement et de confinement", explique Jonathan Doan, directeur du marketing chez Nordson MARCH. "Dans notre méthode, nous minimisons l'écart entre le bord de l'anneau et l'électrode inférieure, ce qui entraîne une zone de propagation plus petite. Cet écart est d'environ 2 mm ou moins, vous n'obtenez donc que du plasma secondaire, plutôt que du plasma primaire comme sur d'autres systèmes. Le volume global de la chambre est réduit à la seule zone située au-dessus de la plaquette.
L'anneau de confinement du plasma est disponible avec la série de systèmes plasma SPHERE™ de Nordson MARCH. Les applications du plasma comprennent le dépilage, le décapage par incinération/photorésist/polymère, la gravure diélectrique, le bumping de plaquettes, l'élimination de la contamination organique et la déstressation des plaquettes.
Pour plus d'informations, contactez Nordson MARCH au [email protected] ou appelez le +1.925.827.1240.