Nordson MARCHのプラズマ閉じ込めリングは、エッチング速度を向上し、ウェーハ処理の処理均一性を改善します。

米国カリフォルニア州コンコード - 2016年9月21日 - プラズマ洗浄技術の世界的リーダーであるNordson (NASDAQ:NDSN) の子会社であるNordson MARCHは、ウェーハ処理およびウェーハ ファンアウト アプリケーション向けのプラズマ閉じ込めリングを発表しました。 リングはプラズマをウェーハ上に直接集中させて焦点を合わせることで、エッチング プロセスを高速化し、プラズマの適用範囲を均一にし、ウェーハの周囲や下部の領域ではなくウェーハ自体にプラズマを隔離します。 リングにより、電極温度を上げたりチャックにバイアスを加えたりすることなくエッチング速度能力が向上するため、プロセス温度を低く抑えることができます。

閉じ込めリングを使用すると、ウェーハ領域の上部電極と下部電極の間に自由な伝導経路が確保されますが、接着剤 テープとウェーハ フレーム領域には伝導経路が確保されません。 リングは絶縁された非導電性材料で作られており、アルミニウム間のプラズマ伝導経路はウェーハ領域に限定されています。 リングと 接着剤 テープおよびウェーハ フレームの間には2 mmの隙間があります。 プラズマ生成やウェハーおよび 接着剤 テープの底部へのプラズマがないため、アンダーカットや剥離が最小限に抑えられ、ウェハー表面へのスパッタリングや 接着剤 テープ堆積は発生しません。

「当社のコンセプトとほとんどのフロントエンドシステムとの大きな違いは、間隔と制限方法です」と、Nordson MARCHのマーケティングディレクター、Jonathan Doan氏は説明します。 「私たちの方法では、リングの端と下部電極の間の隙間を最小限に抑え、拡散領域を小さくします。 このギャップはおよそ2 mm以下なので、他のシステムのように一次プラズマではなく二次プラズマのみが得られます。 チャンバー全体の容積は、ウェーハ上部の領域のみに縮小されます。」

プラズマ閉じ込めリングは、Nordson MARCHのSPHERE™ シリーズのプラズマ システムで利用できます。 プラズマの用途には、デスカム、アッシング/フォトレジスト/ポリマーの剥離、誘電体エッチング、ウェーハバンピング、有機汚染物質の除去、ウェーハのストレス除去などがあります。

詳細については、Nordson MARCH（[email protected]）までお問い合わせいただくか、+1.925.827.1240までお電話ください。