Nordson MARCH의 플라즈마 밀폐 링은 웨이퍼 처리에 대한 에칭 속도를 높이고 처리 균일성을 개선합니다.

캘리포니아주 콩코드, 미국 - 2016년 9월 21일 - Nordson(NASDAQ:NDSN)의 자회사이자 플라즈마 세척 기술 분야의 글로벌 리더인 Nordson MARCH가 웨이퍼 처리 및 웨이퍼 팬아웃 애플리케이션을 위한 플라즈마 한정 링을 출시했습니다. 링은 플라즈마를 웨이퍼 바로 위에 집중시켜 에칭 공정을 가속화하고, 균일한 플라즈마 범위를 제공하며, 플라즈마를 웨이퍼 주변이나 아랫부분이 아닌 웨이퍼 자체에 격리합니다. 링이 전극 온도를 높이거나 척에 바이어스를 추가할 필요 없이 에칭 속도 성능을 높이기 때문에 공정 온도를 낮게 유지할 수 있습니다.

제한 링을 사용하면 웨이퍼 영역의 상부 및 하부 전극 사이에는 자유 전도 경로가 생기지만 접착 테이프 및 웨이퍼 프레임 영역에는 전도 경로가 없습니다. 링은 절연성 비전도성 소재로 만들어졌고, 알루미늄 대 알루미늄 플라즈마 전도 경로는 웨이퍼 영역으로 제한됩니다. 링과 접착 테이프, 웨이퍼 프레임 사이에는 2mm 간격이 있습니다. 웨이퍼 바닥과 접착 테이프에 플라즈마가 발생하지 않고, 플라즈마가 발생하지 않기 때문에 언더컷과 박리가 최소화되고 웨이퍼 표면에 스퍼터링이나 접착 테이프 증착이 발생하지 않습니다.

Nordson MARCH 마케팅 이사인 조나단 도안은 "우리의 컨셉과 대부분의 프런트엔드 시스템 간의 가장 큰 차이점은 간격과 제한 방법입니다."라고 설명했습니다. "우리의 방법에서는 링 가장자리와 하부 전극 사이의 간격을 최소화하여 퍼짐 면적을 줄였습니다. 이 간격은 대략 2mm 이하이므로 다른 시스템에서처럼 1차 플라즈마가 아닌 2차 플라즈마만 얻을 수 있습니다. 전체 챔버 용량은 웨이퍼 위의 영역으로만 줄어듭니다."

플라즈마 밀폐 링은 Nordson MARCH의 SPHERE™ 시리즈 플라즈마 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 플라즈마 응용 분야에는 디스컴, 애싱/포토레지스트/폴리머 스트리핑, 유전체 에칭, 웨이퍼 범핑, 유기 오염 제거 및 웨이퍼 스트레스 해소가 포함됩니다.

자세한 내용은 Nordson MARCH에 [email protected]로 문의하거나 +1.925.827.1240로 전화해 문의하세요.