El anillo de confinamiento de plasma de Nordson MARCH aumenta la velocidad de grabado y mejora la uniformidad del tratamiento para el procesamiento de obleas
sep.
21,
2016
Concord, California, Estados Unidos - 21 de septiembre de 2016 - Nordson MARCH, una empresa de Nordson (NASDAQ:NDSN), líder mundial en tecnología de limpieza de plasma, presenta su anillo de confinamiento de plasma para procesamiento de obleas y aplicaciones de distribución de obleas. El anillo concentra y enfoca el plasma directamente sobre la oblea para acelerar el proceso de grabado, proporcionar una cobertura de plasma uniforme y aislar el plasma en la oblea misma en lugar del área alrededor o debajo de ella. Las temperaturas del proceso se pueden mantener bajas porque el anillo aumenta la capacidad de velocidad de grabado sin la necesidad de aumentar la temperatura del electrodo o agregar polarización al mandril.
Gracias al anillo de confinamiento, existe una ruta de conducción libre entre los electrodos superior e inferior en la región de la oblea, pero no hay ruta de conducción en la cinta adhesiva y el área del marco de la oblea. El anillo está hecho con un material aislado y no conductor, mientras que la ruta de conducción del plasma de aluminio a aluminio está confinada al área de la oblea. Hay un espacio de 2 mm entre el anillo y la cinta adhesiva y el marco de la oblea. Debido a que no hay generación de plasma ni plasma en la parte inferior de la oblea y cinta adhesiva, se minimizan los socavados y la delaminación y no hay pulverización catódica ni deposición de cinta adhesiva en la superficie de la oblea.
"La gran diferencia entre nuestro concepto y la mayoría de los sistemas frontales es el método de espaciado y confinamiento", explicó Jonathan Doan, director de marketing de Nordson MARCH. "En nuestro método, minimizamos el espacio entre el borde del anillo y el electrodo inferior, lo que da como resultado un área de distribución más pequeña. Este espacio es de aproximadamente 2 mm o menos, por lo que solo se obtiene plasma secundario, en lugar de plasma primario como ocurre en otros sistemas. El volumen total de la cámara se reduce únicamente al área situada por encima de la oblea”.
El anillo de confinamiento de plasma está disponible con la serie de sistemas de plasma SPHERE™ de Nordson MARCH. Las aplicaciones de plasma incluyen desescoriación, eliminación de cenizas/fotorresistencia/polímero, grabado dieléctrico, golpeteo de obleas, eliminación de contaminación orgánica y desestresamiento de obleas.
Para obtener más información, comuníquese con Nordson MARCH al [email protected] o llame al +1.925.827.1240.
Gracias al anillo de confinamiento, existe una ruta de conducción libre entre los electrodos superior e inferior en la región de la oblea, pero no hay ruta de conducción en la cinta adhesiva y el área del marco de la oblea. El anillo está hecho con un material aislado y no conductor, mientras que la ruta de conducción del plasma de aluminio a aluminio está confinada al área de la oblea. Hay un espacio de 2 mm entre el anillo y la cinta adhesiva y el marco de la oblea. Debido a que no hay generación de plasma ni plasma en la parte inferior de la oblea y cinta adhesiva, se minimizan los socavados y la delaminación y no hay pulverización catódica ni deposición de cinta adhesiva en la superficie de la oblea.
"La gran diferencia entre nuestro concepto y la mayoría de los sistemas frontales es el método de espaciado y confinamiento", explicó Jonathan Doan, director de marketing de Nordson MARCH. "En nuestro método, minimizamos el espacio entre el borde del anillo y el electrodo inferior, lo que da como resultado un área de distribución más pequeña. Este espacio es de aproximadamente 2 mm o menos, por lo que solo se obtiene plasma secundario, en lugar de plasma primario como ocurre en otros sistemas. El volumen total de la cámara se reduce únicamente al área situada por encima de la oblea”.
El anillo de confinamiento de plasma está disponible con la serie de sistemas de plasma SPHERE™ de Nordson MARCH. Las aplicaciones de plasma incluyen desescoriación, eliminación de cenizas/fotorresistencia/polímero, grabado dieléctrico, golpeteo de obleas, eliminación de contaminación orgánica y desestresamiento de obleas.
Para obtener más información, comuníquese con Nordson MARCH al [email protected] o llame al +1.925.827.1240.