AMI SpinSAM Lite
Inspeção e análise sem operador
A ferramenta de inspeção automatizada SpinSAM Lite oferece alta resolução espacial e melhor sensibilidade para localizar com precisão defeitos em montagens baseadas em wafers.
Visão geral
Aplicações bem-sucedidas incluem wafers colados, Chip-on-Wafer, wafers empilhados, MEMS, wafers sobremoldados e muito mais. Com transdutores compatíveis, é possível realizar varreduras de rotação eficientes em até 2 wafers simultaneamente, permitindo a inspeção dos wafers na mais ampla faixa de frequência já alcançada em um ambiente de produção.
O transdutor em cachoeira proporciona uma varredura sem imersão, o que minimiza os riscos de contaminação e indicações falsas de ligação.
Imagens uniformes e sem manchas
A circulação contínua de água evita o aprisionamento de ar, resultando em imagens uniformes e sem riscos, além de uma operação limpa, sem peças móveis acima do scanner. Com exposição mínima à água, os wafers são digitalizados e secos no local para diminuir as etapas de processamento.
A digitalização completa do wafer leva menos de seis minutos.
Uma varredura de 100 μm (de uma pilha de wafers à outra) leva menos de seis minutos. Os wafers também entram e saem do sistema completamente secos. O SpinSAM também inclui um leitor de código de barras para verificação de receitas e carregamento de parâmetros, além de acionar solicitações de calibração e registros históricos.