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AMI 스핀샘 라이트
작업자 없이 가능한 검사 및 분석
SpinSAM Lite 자동 검사 도구는 웨이퍼 기반 어셈블리에서 결함을 정확하게 찾아내는 데 필요한 높은 성능과 향상된 감도를 제공합니다.
개요
성공적인 적용 사례로는 본딩 웨이퍼, 칩온웨이퍼, 적층 웨이퍼, MEMS, 오버몰딩 웨이퍼 등이 있습니다. 매칭된 트랜스듀서를 사용하여 최대 2개의 웨이퍼를 동시에 효율적으로 스핀 스캔할 수 있으며, 생산 환경에서 달성 가능한 가장 넓은 주파수 범위에서 웨이퍼를 검사할 수 있습니다.
폭포형 변환기는 비침수식 스캐닝 방식을 제공하여 오염 및 잘못된 접합 신호 발생 위험을 최소화합니다.
균일하고 얼룩 없는 이미지
연속적인 물 공급 방식은 공기 혼입을 방지하여 줄무늬 없는 균일한 이미지를 얻을 수 있을 뿐 아니라 스캐너 위에 움직이는 부품이 없어 깔끔한 작동을 보장합니다. 물에 노출되는 것을 최소화하면서 웨이퍼를 스캔하고 제자리에서 건조시켜 처리 단계를 줄입니다.
웨이퍼 전체 스캔은 6분 이내에 완료됩니다.
100μm 스캔(웨이퍼 로딩부터 다음 웨이퍼 로딩까지)은 6분 이내에 완료됩니다. 웨이퍼는 시스템에 완전히 건조한 상태로 들어가고 나옵니다. SpinSAM에는 레시피 검증 및 매개변수 업로드를 위한 바코드 판독기와 교정 요청 및 이력 기록 기능도 포함되어 있습니다.