AMI SpinSAM Lite
Bedienerfreie Inspektion und Analyse
Das automatisierte Inspektionswerkzeug SpinSAM Lite bietet eine hohe Auflösung und bessere Empfindlichkeit für die genaue Lokalisierung von Defekten in waferbasierten Baugruppen.
Überblick
Zu den erfolgreichen Anwendungen gehören gebondete Wafer, Chip-on-Wafer, gestapelte Wafer, MEMS, umspritzte Wafer und mehr. Durch effizientes Drehscannen von bis zu 2 Wafern gleichzeitig mit abgestimmten Wandlern können Wafer über den breitesten Frequenzbereich inspiziert werden, der jemals in einer Produktionsumgebung erreicht wurde.
Der Wasserfall-Schallkopf ermöglicht das Scannen ohne Eintauchen, wodurch das Risiko von Verschmutzung und falschen Bond-Anzeigen minimiert wird.
Einheitliche, streifenfreie Bilder
Durch die kontinuierliche Wasserzufuhr wird Lufteinschluss vermieden, was zu streifenfreien, gleichmäßigen Bildern führt. Zudem gewährleistet dies einen sauberen Betrieb ohne bewegliche Teile oberhalb des Scanners. Durch die minimale Wasserexposition werden die Wafer gescannt und direkt vor Ort getrocknet, um die Anzahl der Verarbeitungsschritte zu reduzieren.
Ein vollständiger Wafer-Scan dauert weniger als sechs Minuten.
Ein Scan von 100 μm (von Waferladung zu Waferladung) dauert weniger als sechs Minuten. Die Wafer gelangen vollständig trocken in das System und verlassen es auch wieder. Der SpinSAM verfügt außerdem über einen Barcode-Leser zur Rezeptverifizierung und zum Hochladen von Parametern, löst Kalibrierungsanforderungen aus und speichert historische Daten.