AMI SpinSAM Lite
Inspección y análisis sin intervención del operador
La herramienta de inspección automatizada SpinSAM Lite ofrece un alto rendimiento y una mayor sensibilidad para localizar con precisión los defectos en los ensamblajes basados en obleas.
Descripción general
Entre las aplicaciones exitosas se incluyen obleas unidas, chips sobre obleas, obleas apiladas, MEMS, obleas sobremoldeadas y más. Mediante el escaneo giratorio simultáneo de hasta 2 obleas con transductores compatibles, se pueden inspeccionar las obleas en el rango de frecuencia más amplio jamás alcanzado en un entorno de producción.
El transductor de cascada proporciona un escaneo sin inmersión, lo que minimiza los riesgos de contaminación y las falsas indicaciones de unión.
Imágenes uniformes y sin rayas
El flujo continuo de agua evita que queden burbujas de aire, lo que da como resultado imágenes uniformes y sin rayas, así como un funcionamiento limpio sin piezas móviles por encima del escáner. Con una mínima exposición al agua, las obleas se escanean y secan in situ para reducir los pasos del proceso.
El escaneo completo de la oblea tarda menos de seis minutos.
Un escaneo de 100 μm (desde la carga de una oblea hasta la carga de otra) tarda menos de seis minutos. Las obleas entran y salen del sistema completamente secas. El SpinSAM también incluye un lector de códigos de barras para verificar recetas y cargar parámetros, activar solicitudes de calibración y registros históricos.