WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
Améliorez l’uniformité et le rendement avec les appareils de mesure sans fil WaferSense AGS2 pour des configurations précises et répétables.
Vidéo du produit WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)
Présentation
Configuration idéale
Obtenez la configuration idéale pour votre équipement en mesurant les écarts en trois points.
- Obtenez rapidement l'écart exact dont vous avez besoin avec les relevés des chambres à la pression du processus sous forme numérique et graphique avec le logiciel Nordson Spectrum et son fonctionnement intuitif.
- Obtenez une uniformité optimale, qu’il s’agisse de définir un écart parfaitement parallèle
ou légèrement incliné.
Amélioration de l'uniformité du processus d'un outil à l'autre
Améliorez l’uniformité du processus d’un outil à l’autre grâce à des ajustements objectifs et répétables de l’écart.
- Ayez l’esprit tranquille en éliminant la variable humaine du réglage de votre équipement.
- Faites les bons ajustements à chaque fois.
- Permettez à n'importe qui de régler le même écart sur l'ensemble des outils.
Réduisez le temps d'étalonnage de l'équipement
Réduisez le temps passé grâce à un retour en temps réel.
- Constatez les effets des réglages en temps réel.
- Disposez d'une indication claire quand les réglages de l’équipement sont dans les limites de la tolérance à l'aide de mesures qui peuvent être prises depuis l’intérieur d’une chambre de traitement sous vide.
Accélération des réglages
Accélérez les réglages, la maintenance et le dépannage grâce aux manipulations automatiques.
- Économies de temps et d’argent.
Caractéristiques & du logiciel
| Caractéristiques préliminaires | |
|---|---|
| Facteur de forme | Disponible en 200 mm et 300 mm. |
| Logiciel | Spectrum de Nordson |
| Précision | ± 0,025 mm pour des écarts jusqu'à 30 mm |
| Matériau du boîtier | Fibre de carbone |
| Résolution | <0,001 mm (pour <30 mm d'écart) |
| Plage | De 8 à 30 mm (standard), de 7 à 50 mm (étendu, exploratoire) |
| Poids | 250 g (300 mm) |
| Pression de fonctionnement | <10-6 à 760 torr |
| Température | de 20 à 60 °C |
| Durée de la batterie | <3 heures par charge |
| Communication | Bluetooth |
| Système d'exploitation | Windows 10 |
| Composants du produit | Appareil de mesure d'écartement, étui de charge propre, valise de transport, module de liaison de communication USB et logiciel d'application. |
| Étalonnage | Étalonnage en usine recommandé une fois par an |
Affiche des données numériques et graphiques en temps réel. Identifiez facilement si l'écart est supérieur, inférieur ou situé dans la plage d'écart cible. Affichez les données de fichier journal à des fins de consultation et d'analyse.
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