Présentation

Maximisez les rendements et minimisez la contamination par des particules grâce à l'étalonnage précis du transfert du wafer.

Capturez des données de décalage pour étalonner les positions de transfert avec précision pendant que l'ATS de type wafer poursuit sa course dans votre équipement à semi-conducteur. Optimisez le rendement de votre processus de fabrication en étalonnant l'équipement.

Bénéficiez de configurations répétitives et reproductibles de l'équipement à semi-conducteur.

Éliminez les variations d'un technicien à l'autre grâce au processus d'étalonnage de l'ATS permettant des contrôles de maintenance et des configurations répétitifs et reproductibles.

Ramenez les temps d'arrêt des équipements de plusieurs heures à quelques minutes.

L'ATS compatible venturi et appareils mobiles réduit la durée des interventions de dépannage, car l'équipement reste hermétique pendant l'inspection. Augmentez la disponibilité de l'équipement et réduisez les dépenses de main-d'œuvre et de consommable.

Accélérez les interventions de dépannage et réduisez les dépenses de consommable grâce à l'inspection visuelle.

Recevez des images en temps réel au fur et à mesure que les robots déplacent l'ATS dans l'outil. L'interface utilisateur graphique du nouveau logiciel CyberSpectrum™ fournit des décalages x, y et z qui éliminent les approximations. Cherchez les wafers perdus et confirmez l'absence de débris sur les socles sans devoir ouvrir l'outil.