Información general

Mejore el rendimiento y reduzca la contaminación por partículas con una calibración precisa en la transferencia de obleas.

Permite capturar datos de desplazamiento para calibrar con precisión las posiciones de transferencia a medida que el ATS en forma de oblea se desplaza por su equipo de semiconductores. Mejore el rendimiento de su proceso de fabricación con equipos calibrados.

Logre implantaciones de equipos de semiconductores repetibles y reproducibles.

Elimine las posibles diferencias entre técnicos gracias al proceso de calibración ATS, que permite realizar comprobaciones de configuración y mantenimiento repetibles y reproducibles.

Reduzca el tiempo de inactividad de los equipos de horas a minutos.

Solucionar los problemas lleva menos tiempo con el proceso ATS inalámbrico y compatible con sistemas de vacío, ya que el equipo permanece sellado durante la inspección. Aumente la disponibilidad de los equipos y reduzca los gastos en mano de obra y consumibles.

Acelere la resolución de problemas y reduzca el gasto en consumibles con inspecciones visuales.

Reciba imágenes en tiempo real a medida que los robots utilizan la herramienta. La nueva interfaz gráfica™ de usuario del software CyberSpectrum permite calcular los desplazamientos en x, y y z sin necesidad de hacer estimaciones. Busque obleas perdidas y verifique que los soportes estén libres de residuos sin abrir la herramienta.