Información general

Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con el sensor de resistencia de 4 hilos tipo oblea.

Recopile y supervise la medición en tiempo real de la resistencia de contacto de las células de revestimiento para detectar residuos que afecten a los pernos de revestimiento. Gracias a su formato de oblea más fino, el sistema ARS puede manipularse como cualquier otra oblea de la herramienta. Ahorre tiempo y costes asociados a las mediciones metrológicas de obleas.

Permite predecir si una herramienta necesita mantenimiento por medio de un análisis cuantitativo de la resistencia media a lo largo del tiempo.

Optimice los planes de mantenimiento preventivo con tendencias de datos precisas y repetibles. Registre los datos para poder comparar datos anteriores y actuales, así como de una herramienta a otra, con el nuevo software CyberSpectrum™. Establezca y guarde una referencia a partir de un aro de contacto nuevo y limpio ya conocido. Compare las resistencias medias con los valores de referencia y reciba alertas anticipadas en caso de deposición no uniforme asociada a cambios en los pernos de revestimiento.

Mejore la uniformidad del proceso célula a célula con la medición objetiva y repetible de la resistencia.

Pronostique en qué momento hay que realizar el mantenimiento de los dedos de chapado a partir de la medición de las resistencias medias. Aumente el rendimiento en las distintas células de metalizado de la herramienta al detectar el aumento de la resistencia de contacto en tiempo real.