개요

웨이퍼와 유사한 4전선 저항 센서로 장비 정비 주기를 단축하십시오.

접촉 저항 도금 셀의 실시간 측정값을 수집하고 모니터링하여 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하십시오. ARS는 더 얇으며 웨이퍼와 유사한 폼 팩터 덕분에 도구의 다른 웨이퍼처럼 처리할 수 있습니다. 계측 웨이퍼 측정과 관련된 시간 및 비용을 절감하십시오.

시간 흐름에 따라 측정된 평균 저항을 정량 분석하여 도구에 정비가 필요한 시점을 예측하십시오.

정확하고 반복 가능한 데이터 추세로 예방 정비 계획을 최적화하십시오. 새로운 CyberSpectrum™ 소프트웨어로 데이터를 기록하여 과거와 현재, 그리고 한 도구와 다른 도구를 비교할 수 있습니다. 알려져 있는 청결한 새 접촉 링으로 기준선을 확립하고 저장하십시오. 평균 저항과 기준선 값을 비교하고, 도금 핀의 변경 사항과 연관된 비균일 증착에 대해 미리 경고를 받을 수 있습니다.

객관적이고 반복 가능한 저항 측정으로 셀 간 공정 균일성을 향상하십시오.

측정된 평균 저항을 사용하여 도금 핑거를 정비해야 하는 시점을 예측하십시오. 접촉 저항 증가를 실시간으로 감지하여 도구 내 다양한 도금 셀의 수율을 높이십시오.