Panoramica

Riduci i cicli di manutenzione dei macchinari con un sensore della resistenza a 4 cavi a forma di wafer.

Raccogli e monitora la misurazione in tempo reale delle celle di rivestimento della resistenza di contatto per individuare residui che interessano i pin del rivestimento. Un fattore di forma più sottile a forma di wafer permette ad ARS di essere gestito come qualunque altro wafer all'interno dello strumento. Risparmia tempo e denaro associati alle misurazioni metrologiche del wafer.

Prevedi quando uno strumento deve essere sottoposto a manutenzione con l'analisi quantitativa della resistenza del mezzo misurata nel corso del tempo.

Ottimizza i piani di manutenzione preventiva con tendenze sui dati accurate e ripetibili. Registra i dati per permettere i confronti tra passato e presente, oltre che tra uno strumento e l'altro grazie al nuovo software CyberSpectrum™. Definisci e salva una linea di base da un anello di contatto nuovo e uno noto e pulito. Confronta le resistenze dei mezzi con i valori della linea di base e ricevi allerte tempestive per depositi non uniformi associati a modifiche ai pin del rivestimento.

Migliora l'uniformità di processo da cella a cella con misurazioni della resistenza obiettive e ripetibili.

Prevedi quando i finger del rivestimento devono essere sottoposti a manutenzione utilizzando le resistenze al mezzo misurate. Aumenta la resa su diverse celle del rivestimento nello strumento rilevando l'aumento della resistenza del contatto in tempo reale.