Información general

Acelere la homologación de equipos con mediciones inalámbricas.

Recopile y visualice datos de partículas de forma inalámbrica mediante APS3 y el software CyberSpectrum™ para diagnosticar equipos en tiempo real. Compare datos pasados y presentes, así como una herramienta con otra con ParticleSpectrum™. Ahorre tiempo identificando rápidamente las fuentes de contaminación y vea el efecto de la limpieza, los ajustes y las reparaciones en tiempo real.

Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con un formato similar al de las obleas.

Detecte partículas en tiempo real sin abrir la herramienta, por lo que no tendrá que exponer las áreas de proceso al entorno. APS3, más fino y ligero, llega hasta donde llegan las obleas para encontrar el punto en el que las partículas las contaminan. Una vez identificada la ubicación de las partículas, las herramientas pueden limpiarse de forma selectiva. Abra solo la parte sucia, y conserve limpias las zonas limpias.

Reduzca los gastos de los equipos con datos objetivos y reproducibles.

Mejore sus resultados con la oblea de control de primera pasada, reduzca los gastos de homologación y aumente la disponibilidad con APS3. Reciba alertas anticipadas sobre fallos de los equipos y optimice sus planes de mantenimiento preventivo. Establezca una referencia a partir de una herramienta limpia ya conocida y, a continuación, realice un ciclo de APS3 con una herramienta alternativa antes de comprometer las obleas del monitor.