Übersicht

Verkürzen Sie Gerätewartungszyklen mit Wafer-ähnlichen 4-Draht-Widerstandssensoren.

Erfassen und überwachsen Sie Echtzeitmessungen von Kontaktwiderstandbeschichtungs-Zellen zur Identifizierung von Rückständen, die sich auf Beschichtungs-Pins auswirken. Dünnere Wafer-ähnliche Formfaktoren ermöglichen die Bearbeitung von ARS ähnlich allen anderen Wafern im Gerät. Sparen Sie Zeit und Kosten bei der technisch hochwertigen Messung von Wafern.

Prognostizieren Sie den Wartungsbedarf eines Geräts mit quantitativen Analysen des gemessenen mittleren Widerstands über die Zeit.

Optimieren Sie Pläne für die präventive Wartung mit genauen, wiederholbaren Datentrends. Zeichnen Sie mit der neuen CyberSpectrum™ Software Daten auf, um Vergleiche zwischen früher und heute und verschiedenen Geräten zu ermöglichen. Erstellen und speichern Sie anhand eines bekannten, sauberen und neuen Kontaktrings eine Baseline. Vergleichen Sie die mittleren Widerstände mit den Baseline-Werten und erhalten Sie rechtzeitige Benachrichtigungen zu nicht gleichförmigen Aufdampfungen in Verbindung mit Änderungen an Beschichtungs-Pins.

Verbessern Sie mithilfe objektiver und wiederholbarer Widerstandsmessungen die Prozessgleichförmigkeit von Zelle zu Zelle.

Prognostizieren Sie mithilfe der gemessenen mittleren Widerstände den Wartungsbedarf für Beschichtungs-Pins. Verbessern Sie die Erträge für verschiedene Beschichtungszellen im Gerät durch die Messung der Kontaktwiderstände in Echtzeit.