WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)
Acelere las mediciones de vibraciones, nivelación y humedad con un dispositivo de medición todo en uno. Mejore los rendimientos.
Las fábricas de semiconductores y los fabricantes de equipos originales de todo el mundo valoran la exactitud, precisión y versatilidad de WaferSense AMS. El dispositivo inalámbrico de medición de nivelación, vibración y humedad más eficiente y eficaz.
Vídeo sobre el producto WaferSense® Auto Multi Sensor™
Información general
Acelere la homologación de equipos con mediciones inalámbricas.
Recopile y visualice datos de aceleración, vibración, nivelación y humedad. Controle la humedad en entornos de obleas. Utilice Auto Multi Sensor con el software CyberSpectrum™ para diagnosticar equipos en tiempo real. Vea los efectos de los ajustes en tiempo real, lo que agiliza la alineación y configuración de los equipos.
Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con un formato compacto y ligero similar a una oblea.
El formato más compacto de 4.5 mm permite acceder a más cámaras. Funciona a temperaturas más altas. Mantenga las áreas de proceso no expuestas al entorno de la fábrica con AMS compatible con vacío.
Reduzca los gastos de mantenimiento de los equipos y optimice los procesos con datos objetivos y reproducibles.
Olvídese del factor humano a la hora de ajustar sus equipos con mediciones objetivas para múltiples aplicaciones en una sola herramienta. Haga los ajustes necesarios en cada momento. Reciba alertas anticipadas sobre fallos de los equipos y optimice sus planes de mantenimiento preventivo.
Características
| Inalámbrico, con forma de oblea y con batería |
Disponible en 150 mm, 200 mm y 300 mm. Compacto, grosor de 4.5 mm |
| Reporta aceleraciones en tres dimensiones | x, y y z |
| Reporta la inclinación en tres dimensiones | x, y y vertical |
| Precisión de humedad | +/- 2 % RH |