概述

通过晶圆式 4 线电阻传感器缩短设备维护周期。

收集并监控电镀槽触点电阻的实时测量结果，以检测影响电镀引脚的残留物。ARS 具有更薄的晶圆型尺寸规格，可以像设备中的任何其他晶圆一样对其进行处理。节省与计量晶圆测量相关的时间和成本。

通过对一段时间测量到的平均电阻进行定量分析来预测设备何时需要维护。

利用准确、可重复的数据趋势优化预防性维护计划。使用新的 CyberSpectrum™ 软件记录数据，以将过去和现在的设备进行比较，以及将一种设备与另一种设备进行比较。根据已知干净的新接触环建立并保存基准。将平均电阻与基准值进行比较，并接收电镀引脚变化引起的不均匀喷胶的早期警告。

通过客观且可重复的电阻测量提高电镀槽间工艺的一致性。

使用测量到的平均电阻来预测何时必须维修电镀指针。通过实时检测触点电阻的增加来提高设备中各个电镀槽之间的产量。