WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

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WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

Mejorar la uniformidad y el rendimiento con Wireless WaferSense AGS2 para obtener configuraciones precisas y repetibles.

Vídeo sobre el producto WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)


Información general


La configuración ideal

Consiga la configuración ideal para su equipo midiendo las distancias en tres puntos.

  • Consiga rápidamente la separación exacta que necesita, utilizando las lecturas de la cámara a la presión del proceso en forma numérica y gráfica, con el sencillo software Nordson Spectrum.
  • Consiga la mejor uniformidad, tanto si necesita establecer una separación perfectamente paralela  
    como ligeramente inclinada.

Mejorar el proceso de herramienta a herramienta

Mejore la uniformidad del proceso de herramienta a herramienta con ajustes de separación objetivos y repetibles.

  • Olvídese del factor humano a la hora de ajustar su equipo.
  • Haga los ajustes necesarios en cada momento.
  • Permita que cualquiera pueda configurar la misma separación entre las herramientas.

Reducir la calibración de los equipos

Reduzca el tiempo con comentarios en tiempo real.

  • Vea los efectos de los ajustes en tiempo real.
  • Obtenga una indicación precisa de cuándo los ajustes del equipo están dentro de la tolerancia con mediciones que se pueden tomar dentro de una cámara de proceso vaciada.

 Configuraciones de velocidad

Acelere las configuraciones, el mantenimiento y la resolución de problemas con la manipulación automática.

  • Ahorre tiempo y dinero.

Características & y software

Especificaciones preliminares
Formato Disponible en 200 mm y 300 mm
Software Nordson Spectrum
Precisión ± 0,025 mm para separaciones de hasta 30 mm
Material de la carcasa Fibra de carbono
Resolución <0,001 mm (para una separación <30 mm)
Rango De 8 a 30 mm (estándar), de 7 a 50 mm (ampliado, exploratorio)
Peso 250 g (300 mm)
Presión de funcionamiento <De 10-6 a 760 torr
Temperatura De 20 a 60 °C
Duración de la batería <3 horas por carga
Comunicación Bluetooth
Sistema operativo Windows 10
Componentes del producto Dispositivo de medición de la separación, estuche de carga limpio, maletín de transporte, módulo de enlace de comunicaciones USB y software de aplicación
Calibración Se recomienda realizar una nueva calibración de fábrica una vez al año

Muestra datos numéricos y gráficos en tiempo real. Identifique fácilmente si están por encima, por debajo o dentro del rango de desfase objetivo. Vea los datos del archivo de registro para su revisión y análisis.

 

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