WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

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WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

Améliorez l’uniformité et le rendement avec les appareils de mesure sans fil WaferSense AGS2 pour des configurations précises et répétables.

Vidéo du produit WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)


Présentation


Configuration idéale

Obtenez la configuration idéale pour votre équipement en mesurant les écarts en trois points.

  • Obtenez rapidement l'écart exact dont vous avez besoin avec les relevés des chambres à la pression du processus sous forme numérique et graphique avec le logiciel Nordson Spectrum et son fonctionnement intuitif.
  • Obtenez une uniformité optimale, qu’il s’agisse de définir un écart parfaitement parallèle  
    ou légèrement incliné.

Amélioration de l'uniformité du processus d'un outil à l'autre

Améliorez l’uniformité du processus d’un outil à l’autre grâce à des ajustements objectifs et répétables de l’écart.

  • Ayez l’esprit tranquille en éliminant la variable humaine du réglage de votre équipement.
  • Faites les bons ajustements à chaque fois.
  • Permettez à n'importe qui de régler le même écart sur l'ensemble des outils.

Réduisez le temps d'étalonnage de l'équipement

Réduisez le temps passé grâce à un retour en temps réel.

  • Constatez les effets des réglages en temps réel.
  • Disposez d'une indication claire quand les réglages de l’équipement sont dans les limites de la tolérance à l'aide de mesures qui peuvent être prises depuis l’intérieur d’une chambre de traitement sous vide.

 Accélération des réglages

Accélérez les réglages, la maintenance et le dépannage grâce aux manipulations automatiques.

  • Économies de temps et d’argent.

Caractéristiques & du logiciel

Caractéristiques préliminaires
Facteur de forme Disponible en 200 mm et 300 mm.
Logiciel Spectrum de Nordson
Précision ± 0,025 mm pour des écarts jusqu'à 30 mm
Matériau du boîtier Fibre de carbone
Résolution <0,001 mm (pour <30 mm d'écart)
Plage De 8 à 30 mm (standard), de 7 à 50 mm (étendu, exploratoire)
Poids 250 g (300 mm)
Pression de fonctionnement <10-6 à 760 torr
Température de 20 à 60 °C
Durée de la batterie <3 heures par charge
Communication Bluetooth
Système d'exploitation Windows 10
Composants du produit Appareil de mesure d'écartement, étui de charge propre, valise de transport, module de liaison de communication USB et logiciel d'application.
Étalonnage Étalonnage en usine recommandé une fois par an

Affiche des données numériques et graphiques en temps réel. Identifiez facilement si l'écart est supérieur, inférieur ou situé dans la plage d'écart cible. Affichez les données de fichier journal à des fins de consultation et d'analyse.

 

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