WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
Verbessern Sie Uniformität und Ertrag mit dem kabelgebundenen WaferSense AGS2 für präzise und wiederholbare Einrichtungen.
Produktvideo zum WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
Übersicht
Die ideale Einrichtung
Erzielen Sie die ideale Einrichtung für Ihre Gerätschaften, indem Sie die Lücken an drei Punkten messen.
- Erzielen Sie schnell mittels der Kammer-Ablesewerte bei Prozessdruck in numerischer und graphischer Form genau die Lücke, die Sie brauchen – mit der benutzerfreundlichen Nordson Spectrum-Software.
- Erzielen Sie optimale Uniformität der Lücke, ob mit perfekter Parallelität
oder leichter Kippung.
Tool-to-tool-Prozess verbessern
Verbessern Sie die Prozessuniformität von Tool zu Tool mit objektiven und wiederholbaren Lückenanpassungen.
- Sorgen Sie für Sicherheit, indem der Unsicherheitsfaktor Mensch aus der Anpassung Ihrer Gerätschaften ausgeschaltet wird.
- Jedes Mal korrekte Anpassungen.
- Ermöglichen Sie es jedem, mit allen Tools die gleiche Lücke zu erzielen.
Kalibrierung der Ausrüstung verringern
Verkürzen Sie den Zeitaufwand durch Live-Feedback.
- Sehen Sie die Auswirkungen der Anpassungen in Echtzeit.
- Erhalten Sie eine klare Anzeige darüber, dass sich die Geräteeinstellungen innerhalb der Toleranzgrenzen befinden durch Messungen, die innerhalb einer evakuierten Prozesskammer vorgenommen werden.
Geschwindigkeitseinrichtungen
Geschwindigkeitseinrichtungen, Wartung und Fehlerbehebung mit automatischen Prozessen.
- Sparen Sie Zeit und Ausgaben.
Merkmale& der Software
| Vorläufige Technische Daten | |
|---|---|
| Formfaktor | Verfügbar in den Größen 200 und 300 mm. |
| Software | Nordson Spectrum |
| Genauigkeit | ± 0,025 mm für Lücken von bis zu 30 mm |
| Gehäusematerial | Kohlefaser |
| Auflösung | <0,001 mm (bei einer Lücke von <30 mm) |
| Bereich | 8 bis 30 mm (Standard), 7 bis 50 mm (Erweitert – sondiert) |
| Gewicht | 250 g (300 mm) |
| Betriebsdruck | <10-6 bis 760 torr |
| Temperatur | 20 bis 60 °C |
| Batteriebetriebsdauer | <3 Std. pro Ladung |
| Kommunikation | Bluetooth |
| Betriebssystem | Windows 10 |
| Produktkomponenten | Lücken-Messgerät, Ladebehälter, Tragekoffer, Linkmodul für die USB-Kommunikation und Anwendungssoftware |
| Kalibrierung | Jährliche Kalibrierung im Werk empfohlen |
Zeigt numerische und graphische Informationen in Echtzeit an. Es ist einfach zu erkennen, ob der Wert unter-, ober- oder innerhalb des Lücken-Zielwerts liegt. Daten der Log-Datei anschauen zur Ansicht und Analyse.
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