개요

3개 지점에서 간극을 측정하여 장비의 적합한 설정을 구현하십시오.

최고의 균일성을 위해 완벽하게 평행인 간극을 설정해야 하든, 약간 기울어진 간극을 설정해야 하든 필요한 간극을 정확하게 구현하십시오. AGS 센서 3개 각각이 공정 압력 상태의 챔버에서 생성되는 별개의 판독값을 숫자 및 그래픽 형태로 보고해 주므로 필요한 간극을 정확하게 구현할 수 있습니다.

객관적이고 반복 가능한 간극 조정으로 도구 간 공정 균일성을 향상하십시오.

객관적인(숫자식) 측정으로 사람이 장비 조정 시 발생할 수 있는 변동을 해소하여 안심하고 가동하십시오. 숫자 및 그래픽 디스플레이로 몇 번이든 올바르게 조정하십시오. 누구든 모든 도구에서 동일한 간극을 설정할 수 있도록 하여 도구 간 공정 균일성을 향상하십시오.

실시간 피드백으로 장비 보정 시간을 줄이십시오.

AGS와 함께 제공되는 CyberSpectrum™ 소프트웨어의 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 조정의 효과를 실시간으로 확인하십시오. 빈 공정 챔버 내부에서 숫자 및 그래픽 측정값을 측정할 수 있으며, 장비 설정이 공차 내로 진입하면 이 내용이 명확하게 표시됩니다.

자동 처리를 통해 설정, 정비 및 문제 해결 속도를 높이십시오.

200mm 및 300mm 웨이퍼 크기로 제공됩니다.