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WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
无线晶圆传感 WaferSense® AGS2 精准设置，提升均匀性与良率。
产品视频 WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)
概述
最佳配置方案
通过三点间隙测量 实现设备最佳配置.
- 诺信 Spectrum 软件操作简便，在工艺压力下数图双显，秒设精准间隙。
- 无论间隙需绝对平行或微倾，
均可实现最佳均匀性。
提高设备工艺一致性
通过客观和可重复的间隙调整来提高设备工艺的均匀性。
- 消除人为干扰，实现设备精准调控。
- 精准调控，始终如一。
- 可以确保每位 工程师均可调至相同间隙。
缩短设备 校准
实时反馈，缩短时间。
- 实时可视调整效果
- 在真空工艺腔内即时测量，以清晰指示设备设定是否合格。
极速装机
自动装卸，极速完成装机、维护与排障。
- 省时降本
特性&软件
| 规格 | |
|---|---|
| 外形尺寸 | 型号有 200mm 和 300mm。 |
| 软件 | 诺信 Spectrum |
| 精度 | ±0.025 毫米，间隙最大为 30 毫米 |
| 外壳材料 | 碳纤维 |
| 分解流量 | <0.001 毫米（适用于<30 毫米间隙） |
| 范围 | 8 至 30 毫米（标准），7 至 50 毫米（扩展--探索性） |
| 重量 | 250 克（300 毫米） |
| 操作压力： | <10-6 到 760 托 |
| 温度 | 20 至 60 °C |
| 电池持续时间 | <每次充电可最长工作 3 小时 |
| 通讯 | 蓝牙 |
| 操作系统 | Windows 10 |
| 产品组件 | 间隙测量仪、洁净充电盒、便携箱、USB 通信模块及配套软件 |
| 校准 | 建议每年返厂 重新校准 |
显示实时数字和图形数据。快速判定参数是否超出、低于或处于目标间隙范围。查看日志文件数据以便审查和分析。
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