Sistema de Centrado Automático™ (ACS)

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Sistema de Centrado Automático™ (ACS)

Rapidez para lograr una calibración precisa de la colocación de las obleas, una alineación adecuada y configuraciones correctas.

Descripción general


Mejorar los rendimientos

Mejora el rendimiento y facilita el mantenimiento predictivo gracias a una calibración precisa de la transferencia de obleas.  

- Capture rápidamente los datos de desplazamiento (XY y Z) para las posiciones de transferencia del centro a medida que el sistema ACS, similar a una oblea, se mueve a través de su equipo de semiconductores. 

- Mejore el rendimiento de su proceso de fabricación con equipos debidamente calibrados. 

Repetible & Reproducible

Lograr configuraciones de equipos de semiconductores repetibles y reproducibles.

Elimine la variabilidad entre técnicos gracias a la calibración del sistema ACS, que permite realizar comprobaciones de configuración y mantenimiento repetibles y reproducibles.

Reduce el tiempo de inactividad de los equipos.

De horas a minutos.

- Ahorre tiempo en la resolución de problemas, ya que el sistema ACS inalámbrico y compatible con vacío permite que el equipo permanezca sellado durante la inspección.
- Aumentar la disponibilidad de los equipos a la vez que se reducen los gastos en mano de obra y consumibles.

Solución de problemas de velocidad

La inspección visual agiliza la resolución de problemas y reduce los gastos en consumibles.

- Reciba imágenes en tiempo real a medida que los robots mueven el sistema de control de actitud (ACS) a través de la herramienta. La interfaz gráfica de usuario del software NordsonSpectrum™ proporciona desplazamientos en los ejes x, y y z, lo que elimina las conjeturas.
- Inspeccione el espacio entre el anillo de enfoque y el soporte del ESC.

Características y software

Especificaciones preliminares
Factor de forma 300 mm
Software Espectro
Exactitud 0,075 mm en el foco nominal²
Material de vivienda Fibra de carbono
Resolución Centrado de 35 mm
Espesor 4,5 mm
Peso <280 g
Presión de funcionamiento <10⁻⁶ a 760 torr

Temperatura

De 20 a 60 °C

Duración de la batería

<2 horas por carga

Distancia de trabajo

De 12 mm a 25 mm

Repetibilidad de la medición

0,035 mm en el enfoque nominal

Comunicación

Wifi

Sistema operativo

Windows 11

Componentes del producto

Dispositivo didáctico, estuche de carga limpio, maleta de transporte, puerta de enlace de comunicación de accesorios

Cámara a bordo

Informa sobre el desplazamiento x-y-z desde la enseñanza hasta los bordes dentro del equipo. Para que puedas enseñar la transferencia de coordenadas de la retícula con 5 cámaras. Imágenes en color con iluminación de luz blanca

Calibración

Se recomienda la recalibración de fábrica anualmente.

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Noticias sobre Test & Inspection

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