Información general

Acelere la homologación de equipos con mediciones inalámbricas.

Recopile y visualice datos de acelaración de forma inalámbrica mediante AVS y el software CyberSpectrum™ para diagnosticar equipos en tiempo real. Vea los efectos de los ajustes en tiempo real, lo que agiliza la alineación y configuración de los equipos.

Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con un acelerómetro similar al de las obleas.

Observe y optimice los movimientos de obleas, cartuchos, SMIF y FOUP mediante el acelerómetro de tres ejes AVS. Detecte deslizamientos de obleas, desprendimientos, golpes, raspaduras y manipulaciones bruscas en tiempo real con el sistema AVS compatible con vacío, sin necesidad de abrir la herramienta. Optimice los parámetros de movimiento una vez identificada la ubicación o ausencia de daños en las obleas.

Reduzca los gastos de los equipos con datos objetivos y reproducibles.

Establezca una referencia a partir de una herramienta limpia ya conocida y, a continuación, realice un ciclo de AVS como si se tratara de una oblea falsa para verificar que la referencia sigue funcionando. Reciba alertas anticipadas sobre fallos de los equipos y optimice sus planes de mantenimiento preventivo.

Optimice la productividad y el rendimiento de los equipos maximizando la aceleración y minimizando las vibraciones.

Los perfiles y trayectorias de movimiento optimizados minimizan los tiempos de los ciclos y la manipulación suave y sin vibraciones reduce al mínimo los agregadores de partículas.