概要

収穫量を向上させる

正確なウェハー受け渡しキャリブレーションにより、歩留まりを向上させ、予知保全を支援します。  

ウェハー状のACSが半導体製造装置内を移動する際に、中心転送位置のオフセット（XYおよびZ）データを迅速に取得します。 

- 適切に校正された機器を使用して、検査システム の収量を向上させましょう。 

再現可能 & 再現可能

半導体製造装置のセットアップを、再現性と再現性の高いものにする。

ACSキャリブレーションにより、技術者間のばらつきを排除し、再現性と信頼性の高いセットアップおよびメンテナンスチェックを実現します。

機器を削減します ダウンタイム

数時間から数分へ。

- 携帯デバイス と真空対応ACSにより、検査中も機器を密閉状態に保つことができるため、トラブルシューティングにかかる​​時間を節約できます。
・人員と消耗品費を削減しながら、機器の稼働率を向上させる。

迅速なトラブルシューティング

目視検査により、トラブルシューティングの迅速化と消耗品コストの削減を実現します。

ロボットがACSをツール内を移動させる際に、リアルタイムの画像を受信する。 NordsonSpectrum™ソフトウェアのグラフィカルユーザーインターフェースは、x、y、zオフセットを提供し、推測作業を不要にします。
フォーカスリングとESCチャックの間の隙間を点検してください。