Visão geral

Melhorar a produtividade

Melhore o rendimento e auxilie na manutenção preditiva com uma calibração precisa na transferência de wafers.  

- Capture rapidamente os dados de deslocamento (XY e Z) para as posições de transferência central à medida que o ACS, semelhante a um wafer, se move através do seu semicondutor equipamento. 

- Melhore o rendimento do seu processo de fabricação com equipamento devidamente calibrado. 

Repetível & Reprodutível

Obtenha configurações de semicondutores equipamento repetíveis e reproduzíveis.

Elimine a variação entre técnicos com a calibração ACS, que permite verificações de configuração e manutenção repetíveis e reproduzíveis.

Reduz equipamento tempo de inatividade

De horas a minutos.

- Economize tempo na resolução de problemas, pois o sistema ACS compatível com Sem Fio e vácuo permite que o equipamento permaneça selado durante a inspeção.
- Aumentar a disponibilidade de equipamento, reduzindo simultaneamente os custos com mão de obra e materiais de consumo.

Solução de problemas de velocidade

Agilize a resolução de problemas e reduza os custos com consumíveis com a inspeção visual.

- Receba imagens em tempo real enquanto os robôs movem o ACS através da ferramenta. A interface gráfica do usuário do software NordsonSpectrum™ fornece deslocamentos em x, y e z que eliminam as suposições.
- Inspecione o espaço entre o anel de foco e o mandril ESC.