자동 센터링 시스템™(ACS)

정확한 웨이퍼 배치 보정, 적절한 정렬 및 설정을 신속하게 완료합니다.

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개요

정확한 웨이퍼 전달 보정으로 수율을 향상시키고 예측 유지보수를 지원합니다.

- 웨이퍼 형태의 ACS가 반도체 장비를 통과할 때 중심 이송 위치에 대한 오프셋(XY 및 Z) 데이터를 신속하게 캡처합니다.

- 정확하게 보정된 장비를 사용하여 제조 공정의 생산량을 향상시키십시오.

반복 가능하고 재현 가능한 반도체 장비 설정을 구현하십시오.

ACS 교정을 통해 기술자 간의 편차를 없애고 반복 가능하고 재현 가능한 설정 및 유지 보수 점검을 수행할 수 있습니다.

몇 시간에서 몇 분으로.

- No Translation Needed 및 진공 호환 ACS를 사용하면 검사 중 장비를 밀봉 상태로 유지할 수 있으므로 문제 해결 시간을 절약할 수 있습니다.
- 장비 가용성을 높이는 동시에 인력 및 소모품 비용을 절감합니다.

육안 검사를 통해 문제 해결 속도를 높이고 소모품 비용을 절감하세요.

- 로봇이 ACS를 도구를 통해 이동시키는 동안 실시간 이미지를 수신합니다. NordsonSpectrum™ 소프트웨어의 그래픽 사용자 인터페이스는 추측을 없애주는 x, y, z 오프셋 값을 제공합니다.
- 초점 링과 ESC 척 사이의 간격을 점검하십시오.

예비 무선 통신 기기
폼 팩터	300mm
소프트웨어	스펙트럼
정확성	명목 초점에서 0.075mm²
주택 자재	탄소 섬유
해결	35mm 센터링
두께	4.5mm
무게	280g 미만
작동 압력	<10-6 ~ 760 torr
온도	20~60°C
배터리 지속 시간	1회 충전 시 2시간 미만
작업 거리	12mm ~ 25mm
측정 반복성	명목 초점에서 0.035mm
의사소통	와이파이
운영 체제	윈도우 11
제품 구성 요소	교육 기기, 충전용 클린 케이스, 휴대용 가방, 액세서리 통신 게이트웨이
온보드 카메라	장비 내부 가장자리까지의 x-y-z 오프셋을 보고합니다. 따라서 5대의 카메라를 사용하여 조준선 전송 좌표를 가르칠 수 있습니다. 백색 조명으로 비춘 컬러 이미지
구경 측정	공장 재교정은 매년 실시하는 것이 좋습니다.