개요

무선 측정으로 장비 기준 충족 속도를 높이십시오.

실시간 장비 진단을 위한 AVS 및 CyberSpectrum™ 소프트웨어를 사용하여 가속화 데이터를 무선으로 수집하고 표시하십시오. 장비 정렬 및 설정 속도를 높여 주는 실시간 조정의 효과를 확인하십시오.

웨이퍼와 유사한 가속도계로 장비 정비 주기를 단축하십시오.

AVS 3축 가속도계를 사용하여 웨이퍼, 카세트, SMIF 및 FOUP 동작을 관찰하고 최적화하십시오. 진공 양립 AVS를 사용하여 도구를 열지 않고도 웨이퍼 미끄러짐, 빠짐, 돌기, 긁힘 및 섬세하지 못한 처리를 실시간으로 감지할 수 있습니다. 웨이퍼 손상의 위치 또는 부재가 식별되면 동작 파라미터를 최적화하십시오.

객관적이고 재현 가능한 데이터로 장비 비용을 낮추십시오.

알려져 있는 청결한 도구로 기준선을 확립한 다음 모형 웨이퍼처럼 AVS를 통과시켜 기준선 작동이 지속되는지 확인하십시오. 장비 고장이 임박하면 미리 경고가 제공되어 예방 정비 계획을 최적화할 수 있습니다.

가속화를 극대화하고 진동은 최소화하여 장비 생산성 및 수율을 최적화하십시오.

동작 프로파일 및 궤적을 최적화하면 주기 시간이 최소화되며, 원활하고 진동 없는 처리를 구현하면 입자 유입 요소가 최소화됩니다.