Übersicht

Schnellere Gerätequalifizierung mit kabellosen Messungen.

Erfassen Sie ohne Kabel Beschleunigungsdaten mit AVS und CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit und zeigen Sie sie an. Sehen Sie die Auswirkungen von Anpassungen in Echtzeit – schnellere Geräteaus- und -einrichtung.

Verkürzen Sie Gerätewartungszyklen mit einem Wafer-ähnlichen Beschleunigungsmesser.

Beobachten und optimieren Sie Wafer-, Kassetten-, SMIF- und FOUP-Bewegungen mit dem AVS-Dreiachsen-Beschleunigungsmessern. Erkennen Sie Wafer-Riefen, -Beulen, -Kratzer und andere Spuren unsachgemäßer Behandlung mit dem vakuum-kompatiblen AVS, ohne das Tool öffnen zu müssen. Optimieren Sie Bewegungsparameter, sobald der Ort oder die Abwesenheit von Wafer-Schäden erkannt wurde.

Senken Sie die Gerätekosten mit objektiven und reproduzierbaren Daten.

Richten Sie anhand eines bekannten sauberen Werkzeugs eine Basislinie ein, und verwenden Sie dann AVS wie einen Dummy-Wafer, um sicherzustellen, dass der Basislinienbetrieb andauert. Erhalten Sie frühzeitige Warnungen bei drohenden Geräteausfällen und optimieren Sie Ihre präventiven Wartungspläne.

Optimieren Sie Geräteproduktivität und Ertrag durch Maximierung der Beschleunigung und Minimierung der Vibration.

Optimierte Bewegungsprofile und -trajekte minimieren die Zykluszeiten und das störungs- und vibrationsfreie Handling minimiert Partikelquellen.