概述

利用无线测量来加速设备验证。

使用 AVS 和 CyberSpectrum™ 软件无线收集和显示加速度数据，以进行实时设备诊断。实时查看调整效果，加快设备对齐和安装。

通过晶圆式加速度计缩短设备维护周期。

使用 AVS 三轴加速度计观察并优化晶圆、晶圆盒、SMIF 和 FOUP 运动。使用真空兼容的 AVS，无需打开工具即可实时检测晶圆滑动、脱落、碰撞、刮擦和粗暴传送。一旦确定水损害的位置或不存在，就优化运动参数。

通过客观且可重复的数据降低设备费用。

根据已知的清洁工具建立基准，然后像虚拟晶圆一样循环 AVS 以验证基准操作是否继续。接收设备故障预警，优化预防性维护计划。

通过最大化加速度和最小化振动来优化设备生产力和产量。

优化的运动轮廓和轨迹可最大限度地缩短循环时间，而平稳、无振动的处理可最大限度地减少粒子加法器。