概要

ワイヤレス測定による装置の校正を迅速化

ソフトウエアCyberSpectrumにて加速度振動データをワイヤレスに表示、ログします。™ 装置の校正とセットアップをリアルタイムにフィードバック調整し効果を確認できます。

ウエハライク形状なので装置のメンテナンスにかかる時間を大幅に削減します。

ウエハ搬送用のキャリア、FOUPの搬送時の振動を3軸加速度で可視化させて最適化を図ります。真空互換性のあるウエハ形状のセンサーなので、装置を大気解放させずに、チャンバ内のウエハズレ、傷、割れなどの原因調査に役立ちます。ウエハに対するダメージ起因を確定しパラメータをフィードバック調整して最適化することが可能となります。

客観的で再現性の高いデータを使って装置間の機差を減らします。

良好な装置から基準を設けて、悪い装置の劣化箇所を可視化し改善に役立てることが出来ます。予防メンテナンスとしてN数の測定データから交換すべきパーツの劣化状況を予測します。

装置の生産性と歩留まりを、加速度振動を低減させることにより実現します。

装置における生産性を最適化しつつ、また発塵性も抑えて装置の健康な状態を保ちます。