Présentation

Accélérez la qualification des équipements avec des mesures sans fil.

Collectez et affichez des données d'accélération sans fil à l'aide d'AVS et du logiciel CyberSpectrum™ pour diagnostiquer l'équipement en temps réel. Constatez les effets des réglages en temps réel, en accélérant l'alignement et la configuration de l'équipement.

Raccourcissez les cycles de maintenance des équipements grâce à un accéléromètre de type wafer.

Observez et optimisez les mouvements des wafers, cassettes, SMIL et FOUP avec l'accéléromètre sur 3 axes d'AVS. Détectez les glissements de wafer, patinages, bosses, produits non conformes et manipulations approximatives en temps réel avec l'AVS compatible venturi, sans ouvrir l'outil. Optimisez les paramètres de mouvement dès que l'emplacement ou l'absence de dommage du wafer est identifié.

Réduisez les dépenses d'équipement en exploitant des données objectives et reproductibles.

Établissez une base de référence à partir d'un outil dont la propreté est connue, puis utilisez AVS sur un wafer factice pour confirmer le bon fonctionnement de la base de référence. Recevez une alerte précoce en cas de panne imminente de l’équipement et optimisez vos plans de maintenance préventive.

Optimisez la productivité et le rendement de l'équipement en maximisant l'accélération et en minimisant les vibrations.

L'optimisation des profils de mouvement et des trajectoires minimise les temps de cycle tandis que les manipulations homogènes et sans vibration minimisent les contaminations par des particules.