Erfassen Sie Versatzdaten für die genaue Kalibrierung von Übertragungspositionen, während sich das Retikel-ähnliche ATSR durch Ihre Halbleiterausrüstung bewegt. Verbessern Sie die Erträge Ihres Fertigungsprozesses mit einer korrekt kalibrierten Ausrüstung.

Verbessern Sie die Erträge und reduzieren Sie Verunreinigungen durch Partikel mithilfe einer genauen Kalibrierung der Retikel-Übertragung. Erfassen Sie Versatzdaten für die genaue Kalibrierung von Übertragungspositionen, während sich das Retikel-ähnliche ATSR durch Ihre Halbleiterausrüstung bewegt. Verbessern Sie die Erträge Ihres Fertigungsprozesses mit einer korrekt kalibrierten Ausrüstung. Erstellen Sie wiederholbare und reproduzierbare Ausrüstungseinrichtungen für die Halbleiterfertigung. Eliminieren Sie mit der ATSR-Kalibrierung die Unterschiede von Techniker zu Techniker, um wiederholbare und reproduzierbare Einrichtungs- und Wartungsprüfungen zu unterstützen. Reduzieren Sie die Ausfallzeiten für Ausrüstungen von Stunden auf wenige Minuten. Sparen Sie Zeit bei der Fehlerbehebung, da das kabellose vakuum-kompatible ATSR erlaubt, dass die Geräte während der Inspektion geschlossen bleiben. Verbessern Sie die Verfügbarkeit der Ausrüstung und reduzieren Sie gleichzeitig Kosten für Personal und Verbrauchsgüter. Beschleunigen Sie durch visuelle Inspektion die Fehlerbehebung und senken Sie die Kosten für Verbrauchsgüter. Erhalten Sie Echtzeitbilder, während Roboter das ATSR durch das Gerät bewegen. Die neue grafische Benutzeroberfläche CyberSpectrum™ stellt Daten zum x-, y- und z-Versatz bereit, die Schluss mit Vermutungen machen. Suchen Sie nach verlorenen Wafern und Sockelpartikeln, ohne das Werkzeug öffnen zu müssen.